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链式去PSG清洗机设备

链式去PSG清洗机设备

5.0m/min高带速大产能链式单面去PSG清洗机设备

1、适用工艺:TOPCon、PERC

2、HF槽有效长度:2.0~2.3米

3、轨道数:12道182;10道210

4、额定带速:4.5~5.0m/min

5、设备产能:182:16000/小时;210:12500/小时

6、设备特点:

1)高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮 ,有效制止翻液及过刻;

2)精细化智能化动力水膜控制 ,无极控速控流 ,精密控制水膜量;

3)多匀流+多流道精确流体流场设计 ,液面更稳定;

4)多区流体液面控制 ,精确控制刻蚀阶段液面高度;

5)超等风刀 ,高带速吹干效果稳定

6)...

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