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碱抛刻蚀清洗机设备

碱抛刻蚀清洗机设备

TOPCon/PERC用单批次6花篮槽式碱抛刻蚀清洗机设备

1、适用工艺:TOPCon、PERC

2、焦点槽数量:碱抛槽2个

3、花篮规格:100-200片

4、花篮数量:6个

5、设备产能:182:16000/小时 ;210:12500/小时

6、设备特点:

1)防带液串槽设计,可收集花篮70%带液量,最洪流平减少差别药水串槽 ;

2)节流定量控制装置+疏水管路+软件赔偿算法,实现毫升级控制精度 ;

3)漫衍式盘管循环系统,改善因循环和剧烈反应导致的花篮跑偏现象 ;

4)高精度温控系统,借助循环系统,工艺槽可实现±0.5℃的控温精度 ;

5)高效烘关连统,种种差别机型,600~700秒全干效能(含Cassette);

6)...


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